EDX-V多导毛细管X射线镀层测厚仪
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- 产品规格:
- 发货地:江苏省苏州昆山市玉山镇
关键词
膜厚测试仪,镀层测厚仪,毛细管测厚仪,多导毛细管测厚仪,X-ray膜厚仪
详细说明
元素检测范围11钠(Na)~92铀(U)
检测能力可同时分析24种元素,五层以上镀层
样品观察广角+微区双相机(光学放大可达500x)
厚度范围≤120μm
检出限0.001μm
厚度标准偏差RSD≤1%
探测器SDD探测器
X射线装置高功率Mo靶射线管
移动平台全自动多点测试XY移动平台
多导毛细管光学器件Φ25μm
平台移动范围250mm(X)×250mm(Y);Z轴:140mm
操作环境温度0~30℃,湿度≤70%
工作电源AC220V±5V
外形尺寸660mm×860mm×735mm
仪器重量120kg
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